Die Lithografiesysteme von Heidelberg Instruments werden für die Herstellung von Fotomasken und die Direktschreiblithografie für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, darunter MEMS, Mikrooptik, Advanced Packaging (3DIC), IC, Flachbildschirme (FPD), Mikrofluidik, Sensoren und andere analoge und digitale elektronische Komponenten.
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