Dafür sind verschiedene Materialkombinationen zu testen und zu vermessen, um anschließend die Eigenschaften der Nanolaminate zu vergleichen und zu bewerten. * Die hergestellten Schichten und Schichtstapel charakterisieren Sie mithilfe verschiedener Messtechniken (Elektronenmikroskopie, Ellipsometrie, Röntgendiffraktion, Rasterkraftmikroskopie, Interferometrie, etc.) sowie an selbst zu konzeptionierenden, an die Zielanwendung angepassten Messplätzen in unseren eigenen Wafer-Test-, Optik- und Biolaboren. * Die Ergebnisse können nachfolgend mit analytischen und simulationstechnischen Berechnungen verglichen und mittels geeigneter Software (z. B. Python, Origin Pro) ausgewertet werden, um Material- und Prozesseigenschaften verstehen und optimieren zu können.
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